怎樣為納米位移臺(tái)設(shè)計(jì)穩(wěn)定的機(jī)械固定結(jié)構(gòu)？
為納米位移臺(tái)設(shè)計(jì)穩(wěn)定的機(jī)械固定結(jié)構(gòu)，目標(biāo)是減少外界干擾、結(jié)構(gòu)變形和振動(dòng)傳遞，以保障其高精度性能。關(guān)鍵設(shè)計(jì)要點(diǎn)如下：
一、結(jié)構(gòu)穩(wěn)固性設(shè)計(jì)原則
高剛性平臺(tái)
選用花崗巖、鑄鐵或蜂窩鋁合金平臺(tái)；
保證整體結(jié)構(gòu)重心低、結(jié)構(gòu)緊湊、剛度高，減少共振效應(yīng)。
避免結(jié)構(gòu)回彈與撓曲
支撐結(jié)構(gòu)應(yīng)對(duì)稱布置、受力均勻，減少因溫差...
長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后，如何檢測(cè)納米位移臺(tái)是否存在機(jī)械磨損？
長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后判斷納米位移臺(tái)是否存在機(jī)械磨損，通?？蓮囊韵聨讉€(gè)維度進(jìn)行檢測(cè)和分析：
一、性能變化檢測(cè)
定位重復(fù)精度降低
原點(diǎn)重復(fù)返回偏差增大；
同一目標(biāo)位置多次定位出現(xiàn)偏差，可能表明導(dǎo)軌或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)磨損。
最小步進(jìn)分辨率變差
微小指令無法被精確執(zhí)行，或者存在不連續(xù)運(yùn)動(dòng)；
滑動(dòng)/滾動(dòng)部件存在微小松動(dòng)或表面損傷...