分析納米位移臺的殘余振動（Residual Vibration），是定位和高速運動優(yōu)化中的關(guān)鍵一環(huán)。以下是一個系統(tǒng)性的方法：
一、采集振動數(shù)據(jù)
安裝高精度傳感器
使用 激光干涉儀、電容位移傳感器 或 壓電加速度計 安裝于平臺關(guān)鍵位置，記錄運動結(jié)束后的響應(yīng)。
記錄閉環(huán)反饋信號
利用控制系統(tǒng)的內(nèi)部位置反饋數(shù)據(jù)（如從編碼器或傳感器讀取的位移信號），獲取運動過程和停止后的位置誤差曲線。
使用高速數(shù)據(jù)采樣系統(tǒng)
保證采樣頻率遠(yuǎn)高于平臺結(jié)構(gòu)的主模態(tài)頻率（通常>5 kHz），以避免混疊效應(yīng)。
二、分析方法
1. 時域分析
觀察平臺停止運動后的響應(yīng)曲線是否有 周期性震蕩。
利用過渡響應(yīng)分析識別平臺停止后是否存在欠阻尼振蕩（波動收斂慢）。
2. 頻域分析
對采集的殘余振動信號進(jìn)行 快速傅里葉變換（FFT），分析主要頻率成分。
可識別出殘振的固有頻率（主模態(tài)），判斷是否由于結(jié)構(gòu)共振或驅(qū)動引起。
3. 模態(tài)分析
通過實驗?zāi)B(tài)分析（EMA），獲取系統(tǒng)的模態(tài)頻率和阻尼比。
判斷哪些模態(tài)被激發(fā)，并分析其對殘余振動的貢獻(xiàn)。
4. 包絡(luò)分析
對殘余震蕩信號進(jìn)行包絡(luò)解調(diào)，可用于提取小幅高頻模態(tài)殘振，尤其在機械噪聲背景中有效。