納米壓電旋轉(zhuǎn)臺RF系列，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強(qiáng)位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
產(chǎn)品應(yīng)用
1、電子顯微鏡原位納米探針臺
2、半導(dǎo)體芯片檢測
3、光刻機(jī)工件臺
4、微生物操縱手
5、光纖焊接
6、組裝
7、檢測與測量
8、高精度激光對焦

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