如何判斷納米位移臺是否需要重新校準(zhǔn)？
判斷納米位移臺是否需要重新校準(zhǔn)，通常依據(jù)以下幾個方面的表現(xiàn)和檢測指標(biāo)來評估：
一、位移精度下降或誤差超標(biāo)
重復(fù)定位誤差增大：同一位置多次定位結(jié)果不一致，超出廠商提供的重復(fù)精度范圍。
線性度變差：位移輸出與輸入指令不再呈現(xiàn)良好的線性關(guān)系，出現(xiàn)偏移或非線性失真。
出現(xiàn)系統(tǒng)漂移：在靜止?fàn)顟B(tài)下，反饋讀數(shù)緩慢...
納米位移臺在同步掃描中的時間延遲如何補償？
納米位移臺在同步掃描中的時間延遲是一個常見但影響成像或測量精度的問題。它可能來自驅(qū)動器、控制系統(tǒng)、傳感器響應(yīng)，或軟件處理延時。想要補償這類延遲，關(guān)鍵在于提前建模、預(yù)測響應(yīng)并在控制邏輯中進(jìn)行校正。下面是幾種常用方法：
1. 前饋補償（Feedforward Compensation）
這是直接的方式：
在控制指令發(fā)出時，加入預(yù)...
如何減少納米位移臺在高速移動中的慣性誤差？
減少納米位移臺在高速移動中產(chǎn)生的慣性誤差（如位置偏移、振動等）是提升系統(tǒng)精度和穩(wěn)定性的關(guān)鍵。以下是一些有效的減少慣性誤差的方法：
1. 優(yōu)化驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)性
高響應(yīng)性驅(qū)動器：選擇高響應(yīng)性的驅(qū)動器，如伺服電機、步進(jìn)電機、壓電驅(qū)動器等，這些驅(qū)動器能夠迅速反應(yīng)并調(diào)整運動方向，從而減少慣性帶來的誤差。
精準(zhǔn)控...
納米位移臺的動態(tài)范圍如何提高？
提高納米位移臺的動態(tài)范圍（即系統(tǒng)能夠精確控制和測量的位移范圍）是提升其性能的一個重要方面。動態(tài)范圍的提高通常意味著在保證高精度的同時，能夠處理更大范圍的位移。以下是一些常見的方法：
1. 優(yōu)化反饋控制系統(tǒng)
精細(xì)化控制：通過優(yōu)化閉環(huán)控制算法（如PID控制、模糊控制等），可以在小位移時保持高精度，同時保證在...
怎樣減少納米位移臺在高速運動時的振動？
減少納米位移臺在高速運動時的振動是保證其高精度、穩(wěn)定性和可靠性的關(guān)鍵，尤其在進(jìn)行精密成像、定位或掃描時。以下是一些減少振動的有效方法：
一、優(yōu)化運動軌跡
平滑加速和減速
避免劇烈的加速和減速，因為這些變化容易引起瞬時高頻振動。
使用S型加速/減速曲線，逐漸調(diào)整速度，避免陡峭的加速階段，減少由于慣性帶來...
納米位移臺在長時間運行中會出現(xiàn)漂移嗎
納米位移臺在長時間運行中確實會出現(xiàn)漂移現(xiàn)象。這是高精度定位系統(tǒng)中的一個常見問題，尤其是在要求納米級穩(wěn)定性的應(yīng)用中（如掃描探針顯微鏡、曝光、光學(xué)對準(zhǔn)等）。
一、什么是“漂移”？
“漂移”是指：
在沒有指令或控制信號變化的情況下，位移臺的輸出位置隨時間緩慢發(fā)生偏移。
它可能是幾納米/秒，也可能在數(shù)分鐘內(nèi)累積到...
納米位移臺為什么在高速運動時會出現(xiàn)自激振蕩現(xiàn)象？
納米位移臺在高速運動時出現(xiàn)自激振蕩（self-excited oscillation），主要是因為系統(tǒng)的動態(tài)特性和反饋控制機制在高速度條件下激發(fā)了某些本征頻率或不穩(wěn)定模態(tài)。
我們來詳細(xì)解釋一下其中的原理、原因，以及如何預(yù)防這種現(xiàn)象：
一、什么是自激振蕩？
自激振蕩是指：
系統(tǒng)內(nèi)部由于結(jié)構(gòu)特性或控制系統(tǒng)設(shè)計不當(dāng)，在沒有外部周...
為什么納米位移臺需要防震隔振？
納米位移臺之所以須進(jìn)行防震隔振，是因為它的工作精度非常高，通常在納米級甚至亞納米級別，任何微小的震動都會直接干擾其正常運行和定位精度。
下面是詳細(xì)原因解釋，幫助你從原理上理解為什么“防震”對納米位移臺至關(guān)重要：
一、納米級精度易被微振動影響
納米位移臺常用于精密掃描、定位、對準(zhǔn)、成像等工作（如在原子力...
納米位移臺動態(tài)掃描過程中如何減小漂移誤差？
納米位移臺在動態(tài)掃描過程中會受到各種干擾因素引起的漂移誤差（drift error），例如溫度變化、機械松動、控制延遲、電氣噪聲等。下面是一些系統(tǒng)性方法，用于減小漂移誤差，提升掃描精度和穩(wěn)定性：
一、控制層面：優(yōu)化控制系統(tǒng)
1. 使用閉環(huán)控制系統(tǒng)
配置電容式、應(yīng)變片或干涉儀等高分辨率傳感器，構(gòu)成閉環(huán)反饋；
實時修...
安裝納米位移臺對平臺水平有什么要求？
安裝納米位移臺時，對平臺的水平度有一定要求，這是為了保證其高精度定位性能和長期穩(wěn)定性。以下是常見的要求和建議：
一、平臺水平度的基本要求
水平度誤差建議小于 0.1 mm/m（或0.01°）
對于高精度納米位移系統(tǒng)，平臺表面應(yīng)盡量保持水平，以避免：
重力對運動部件產(chǎn)生橫向分量，影響精度；
造成負(fù)載不均，影響傳動系統(tǒng)...